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  • 韓國電子顯微鏡產業化發展狀況簡介
  • 發表日期:[2010-06-29]

  • dbzz.net

      電子顯微鏡是韓國政府納米技術產業化戰略目標中,20項服務于納米技術研發的軟硬件工程之一的重點項目, 力爭在2010年前達到世界較先進水平。自2000年開始立項,韓國政府招募海外科學家,政府投資兩家單位,同時開展對電子顯微鏡的研制,一家為企業即韓國MIRERO株式會社,另一家為事業單位韓國標準與科學研究院(KRISS)。

      韓國MIRERO株式會社一個事業部承擔電鏡項目,2007年該事業部轉變為MIRERO獨立子公司SERON。由于過去MIRERO具有仿制掃描電鏡的基礎原型,在此基礎上2002年便推出IS2000型商品化電鏡,2003年升級為AIS2003分辨率為5nm,2004年升級為AIS2100分辨率標稱3.5nm,并且于2005年開始海外市場推廣,AIS2100掃描電鏡在2004年到2009年作為其主要產品供應國內及國際市場。

      自2006-2010年期間我國曾經進口了幾臺,2010年初本人有幸親自在AIS2100兩家中國客戶處上機考察,發現其較多問題,例如無電子槍電磁對中器,大幅度改變加速電壓或燈絲溫度,造成的燈絲微小變形,足以令電子槍合軸不良,因此要想改變電壓或者燈絲溫度,都要重新進行機械對中調整,一般該廠商不建議用戶經常改變觀察條件,用戶確實也是那么做的;還有軟件沒有工作距離參數顯示,改變工作距離,進行聚焦,放大倍數不變,這個是不能允許的。

      當然這些明顯的缺陷在近一兩年有所解決.最主要的問題,其采用擴散泵真空系統,按道理本身振動小才對,調查的結果卻是,即使加上樣品臺氣鎖,超過一萬倍就開始影響圖像.究其原因產業化過早,過早參與競爭帶來經營上的壓力巨大,加上底端的鎢燈絲掃描電鏡,市場和技術都很成熟,利潤率又很低,韓國政府采購中強制采購其產品,沒有競爭,因而對待問題的態度成了決定因素,往往遮蔽其制造技術缺陷。2009年底該企業推出升級產品AIS2100C及AIS2300C型掃描電鏡.

      韓國標準與科學研究院(KRISS),從一開始便科學嚴謹的進行電鏡技術開發,2000年進行市場調研,2001年進行電子光學電磁透鏡設計,2003年獲得了初步成果,樣機上獲得5nm分辨率照片,并不斷優化設計完善,實現了最佳性能。2004年開始設計全數字控制系統,高壓電路板等,2005年研制成功高亮度鎢燈絲電子槍。2007年7月,電子顯微鏡項目組從KRISS成功分離,成立COXEM公司。COXEM商品化掃描電鏡一經推出,便是比較成熟可靠的,高檔渦輪分子泵潔凈真空系統配置,以極高的性價比,受到用戶歡迎。07年在韓國僅出售1臺, 08年出售了6臺,09年出售了23臺,從絕對數量上看很少,但從增長率上來看,確是很高的。充分說明,使用者的示范效應起到了市場催化。

      韓國國內用戶對于COXEM掃描電鏡的渴求,可謂是久旱望甘霖,終于有了韓國本土制造的掃描電鏡,可以和其他進口品牌,在同檔產品的綜合性能上一較高下,令韓國人為之振奮,預計2010年,coxem電鏡在韓國本土的銷售可達40臺以上.2010年初,coxem開始開發海外市場,首先開發的是美國市場,美國evex能譜公司作為其合作伙伴,其次是中國市場為代表的亞洲各國市場。2009年底coxem推出可靠地CX-200型全自動掃描電子顯微鏡,該型號將于2010年下半年向海外發售。

      韓國這兩家制造商持續受到政府技術創新資金支持,海外市場開拓基金支持,開發納米科技支撐裝備電子顯微鏡為目標,開發海外市場。

      目前韓國鎢燈絲掃描電鏡市場每年需求約200臺,據說韓國本土制造占有50%份額。

    (來源:網絡)
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