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多功能高靈敏度微納電子傳感檢測(cè)系統(tǒng)通過驗(yàn)收
發(fā)表日期：[2015-04-25]
dbzz.net “多功能高靈敏度微納電子傳感檢測(cè)系統(tǒng)”項(xiàng)目日前順利通過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收，將推動(dòng)微納電子傳感器的研究。
　　4月7至8日，中國科學(xué)院條件保障與財(cái)務(wù)局組織專家對(duì)中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所承擔(dān)的中科院科研裝備研制項(xiàng)目“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測(cè)系統(tǒng)”進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收。

　　驗(yàn)收專家組聽取了項(xiàng)目工作匯報(bào)、財(cái)務(wù)報(bào)告、用戶報(bào)告及測(cè)試報(bào)告，現(xiàn)場(chǎng)查驗(yàn)了研制裝備的運(yùn)行情況，審閱了相關(guān)文件檔案及財(cái)務(wù)賬目。通過質(zhì)詢討論，專家組一致認(rèn)為該項(xiàng)目較好地完成了研制任務(wù)，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于實(shí)施方案規(guī)定指標(biāo)。并在此研制設(shè)備的支撐下取得了優(yōu)異的科研成果，在《先進(jìn)材料》等國際知名期刊發(fā)表了8篇SCI論文，申請(qǐng)了12項(xiàng)專利，相關(guān)專利獲得許可轉(zhuǎn)讓。專家組一致同意“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測(cè)系統(tǒng)”研制項(xiàng)目通過驗(yàn)收。

　　該項(xiàng)目針對(duì)微納電子傳感器件對(duì)高靈敏度、高時(shí)間/空間分辨率和綜合性的在線檢測(cè)需求，創(chuàng)新性地研制了原位實(shí)時(shí)檢測(cè)力學(xué)、化學(xué)、生物和光學(xué)等單一或復(fù)合量的高靈敏度多功能傳感檢測(cè)系統(tǒng)樣機(jī)。該系統(tǒng)主要是以自主研制的高精度新型微納電子傳感器陣列和MEMS電容式微納傳感探針為核心，以化/生/光/力微納米傳感器表征測(cè)試平臺(tái)、集成化分布式I/O模塊的電路和相關(guān)自動(dòng)化控制軟件系統(tǒng)融合組成。該系統(tǒng)的研制成功地通過“化/生/光/力－納米尺度－信息”的學(xué)科交叉融合，在材料與器件的納米尺度效應(yīng)、界面效應(yīng)等特性表征和微納制造等微納傳感器基礎(chǔ)研究方面取得突破，為微納傳感器件的研究提供理論、設(shè)計(jì)、表征和制造奠定基礎(chǔ)，并形成了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的檢測(cè)技術(shù)，將成為推動(dòng)微納電子傳感器研究的重要科研裝備。（來源：機(jī)經(jīng)網(wǎng)）
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