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新世紀(jì)十年回望?突破瓶頸

經(jīng)過兩個(gè)五年計(jì)劃，在重大科技專項(xiàng)的帶動(dòng)下，我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展突飛猛進(jìn)，特別是在65納米技術(shù)代已構(gòu)建起配套的集成電路裝備、工藝和材料技術(shù)創(chuàng)新體系，突破了核心技術(shù)，部分產(chǎn)品已進(jìn)入國際市場銷售。

10年前，清華大學(xué)微電子學(xué)研究所教授、中國工程院院士李志堅(jiān)在接受科技日報(bào)記者采訪時(shí)認(rèn)為，發(fā)展整個(gè)集成電路沒有上升為國家行為；同時(shí)，在發(fā)展集成電路方面缺少長期規(guī)劃，從而制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

近日，記者就這一問題采訪中國科學(xué)院微電子所所長葉甜春，他表示，過去發(fā)展整個(gè)集成電路沒有上升為國家行為的局面如今得到根本性改變，研究經(jīng)費(fèi)與十年前相比，有了幾十倍的增長。“現(xiàn)在，國家有兩個(gè)重大專項(xiàng)用于支持集成電路的發(fā)展，另外在通信專項(xiàng)中也有部分用于研發(fā)集成電路。這樣算起來，有兩個(gè)半的重大專項(xiàng)了。”

為打造集成電路產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新集群和產(chǎn)業(yè)集群，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大科技專項(xiàng)將重點(diǎn)放在產(chǎn)業(yè)鏈的構(gòu)建上。專項(xiàng)在實(shí)施中尤其注重頂層設(shè)計(jì)，進(jìn)行整體布局、組織與整合。2009年12月，專項(xiàng)成立首個(gè)聯(lián)盟??集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟。據(jù)悉，今后還將陸續(xù)成立光刻機(jī)、65?22納米工藝研發(fā)和硅材料等聯(lián)盟，充分發(fā)揮“大軍團(tuán)作戰(zhàn)”的協(xié)同能力，推進(jìn)我國集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈的形成和產(chǎn)業(yè)整體核心競爭力的提升。

由于研發(fā)能力的薄弱，通過拍攝和放大已有芯片照片得到版圖幾何圖形的“反向設(shè)計(jì)”一度在我國集成電路產(chǎn)業(yè)中十分流行，由此造成我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新能力停步不前。對此，葉甜春表示，我國微電子產(chǎn)業(yè)十年前流行的反向設(shè)計(jì)方式如今已基本擯棄。“國內(nèi)目前的專業(yè)人才培養(yǎng)也是正向設(shè)計(jì)方式，現(xiàn)在已看不到什么反向設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，我們比過去更關(guān)注知識產(chǎn)權(quán)。”

自主研發(fā)為國人帶來了可喜的實(shí)惠。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司研制開發(fā)出具有獨(dú)立自主知識產(chǎn)權(quán)的65?45納米介質(zhì)刻蝕機(jī)，并完成了65納米工藝各項(xiàng)優(yōu)化工作。與世界上最先進(jìn)設(shè)備的芯片加工結(jié)果相比，該機(jī)單位投資的產(chǎn)出量高35%到50%，芯片加工成本低30%到35%，芯片生產(chǎn)線廠房面積節(jié)省35%到50%，而且改進(jìn)后可以有更先進(jìn)工藝芯片的加工能力。

目前，該機(jī)已成功打入國際市場，在5家亞洲客戶芯片生產(chǎn)線投入使用，成功改變了過去幾十年先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備長期被西方發(fā)達(dá)國家壟斷的局面，打破了發(fā)達(dá)國家在核心半導(dǎo)體制造設(shè)備方面對我國的壟斷和技術(shù)封鎖，改變了國際上刻蝕設(shè)備市場的競爭格局。

實(shí)際上，我國已經(jīng)有一批集成電路企業(yè)走在國際前沿，在研發(fā)、設(shè)備和產(chǎn)品等各個(gè)環(huán)節(jié)正在闊步前進(jìn)，部分已進(jìn)入國際市場打拼。中芯國際“65納米低漏電產(chǎn)品工藝”整體研發(fā)基本完成，并實(shí)現(xiàn)小批量量產(chǎn)；北京七星華創(chuàng)的氣體質(zhì)量流量計(jì)已向國外燃料電池行業(yè)批量供貨。由江蘇長電和南通富士通牽頭承擔(dān)的集成電路制造關(guān)鍵封測設(shè)備、材料應(yīng)用工程，攻克了10多項(xiàng)重大關(guān)鍵技術(shù)，已有20種設(shè)備和7種材料產(chǎn)品進(jìn)入大生產(chǎn)線考核驗(yàn)證，企業(yè)成功獲得了國際國內(nèi)高端客戶連續(xù)增長的訂單。

“在微電子領(lǐng)域，我國進(jìn)步最快的是制造業(yè)，與世界先進(jìn)水平相比，差距正大幅度縮小，雖然總體技術(shù)水平還差1?2代，但我們在嵌入式存儲(chǔ)器領(lǐng)域、先進(jìn)封裝技術(shù)等領(lǐng)域有不小突破。”葉甜春說。

從長遠(yuǎn)來看，國家在集成電路領(lǐng)域也有著更多考慮。“圍繞著國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和改善民生的重大任務(wù)，每一個(gè)專項(xiàng)都有明確的目標(biāo)、任務(wù)和時(shí)間表，每一個(gè)專項(xiàng)的具體目標(biāo)和任務(wù)都經(jīng)過專家們的反復(fù)論證。”科技部重大專項(xiàng)辦公室許?表示。